机译:直流偏置电压对内部线性天线电感耦合等离子体源沉积低温氮化硅薄膜特性的影响
机译:施加的直流偏置电压对双dc-rf等离子体系统中制备的a-C:H薄膜的性能的影响
机译:衬底偏压对中频磁控溅射沉积CrN薄膜组织和残余应力的影响
机译:直流偏压对等离子体辅助电子束蒸发沉积TiO_2薄膜的光学性能的影响
机译:射频感应耦合等离子体沉积的类金刚石碳膜的表征和优化显微硬度
机译:从He / H2 / CH4 / N2微波等离子体沉积超光滑纳米结构金刚石薄膜
机译:衬底偏压对射频磁控溅射沉积Ti6A14V薄膜晶体结构和表面成分的影响
机译:光谱法测定ar / H2 / CH4和ar / H2 / C60微波等离子体中的C2用于纳米金刚石合成